集成电路生产洁净室通常有高纯度气体管道

在食品厂的设计装修中，洁净室中的管道种类，除设有通常在一般厂房内设置的消防管道、冷却管道、生活管道、排水管道、一般压缩空气管外，通常还根据食品厂各类洁净室内产品品种、产品生产工艺的不同，要求供应各种类型、各种等级的气体、液体、化学品作为原料、防护介质或清洁剂或清洗置换介质等，经常与产品直接接触，因此要求供应无污染、杂质含量极微量的流体。集成电路生产洁净室通常有高纯度气体管道，包括高纯度普通气体(或大宗气体)，如H2、N2、O2、Ar、He等。

高（超）纯气体管线长度应尽量短，根据气体耗量确定管径，不宜设预留 口，不应出现“盲管”等不易吹除的部位；在气体终端纯化装置的进、出口处， 关键工艺设备的入口处以及必须进行取样的管段上应设置取样口。

气体管道穿过洁净室的墙壁、楼板时，在墙壁（或楼板）的孔洞内管道不 应有焊缝，在孔洞的两侧应用不锈钢板封盖，不锈钢板与墙壁（或楼板）之间 应加设橡胶垫，不锈钢板用螺钉固定在墙壁（或楼板）之间，均应涂以硅胶密 封剂进行密封。

常用高纯气体管道应根据所输送的不同的气体和用途选用不同品种的奥氏 体不锈钢管，尽量不用铜材质造的管道，按纯度要求***99.9999 应采用不锈钢 管。***99.99 宜采用不锈钢管。＜99.99 可用无缝钢管。气体终端纯化装置入 口侧的高纯气体管道一般选用 0Cr18Ni9，0Cr19Ni10 有缝或无缝不锈钢管，但 对于不经过气体终端纯化处理而直接通往用气点的高纯气体管道宜采用无缝 不锈钢管。气体终端纯化装置出口侧的超纯气体管道及掺杂气体的管道一般选 用 0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb 无缝不锈钢管道。接至工艺设备的管道应选用 不锈钢管或不锈钢波纹管道。不能使用聚四氟乙烯管或其他软管。